[光學(xué)平臺]光學(xué)氣浮平臺組成、測量方法介紹！

 

    一、光學(xué)平臺的結構組成

    1、優(yōu)質(zhì)平臺和面包板應具有全鋼結構，包括厚5毫米的頂板和底板，以及厚0.25毫米的精密加工的焊接鋼制蜂窩芯。蜂窩芯通過(guò)精確的壓膜工具制成，通過(guò)焊接平墊片保證其幾何間距。

    2、熱穩定性的關(guān)鍵之處在于各軸方向上都具有對稱(chēng)、各向均勻的鋼制結構。鋼制部件在熱交換過(guò)程中的延伸性和收縮性是相似的，可以在溫度變化過(guò)程中保持良好的平整度。

    3、鋼制的蜂窩芯結構從頂板延伸到底板，中間并無(wú)塑料或鋁質(zhì)泄露管理結構，因此不會(huì )降低平臺整體的剛度或是引入更高的熱膨脹系數。我們采用鋼質(zhì)側板，這樣就消除了由于濕度而引起的環(huán)境不穩定因素。

    4、自動(dòng)化加工系統平臺和面包板的特殊之處是采用自動(dòng)軌道機械啞光表面加工，比老舊的平臺產(chǎn)品更加平滑、平整。這些平臺經(jīng)過(guò)改善的表面拋光處理后，表面平整度在1平方米，為安裝部件提供了接觸表面。

    二、光學(xué)平臺的測量方法

    1、用脈沖錘對平臺或面包板的表面施加一個(gè)已測量的外力，并將一個(gè)傳感器貼合在平臺或面包板表面對合成振動(dòng)進(jìn)行測量。探測器發(fā)出的信號通過(guò)分析儀進(jìn)行讀取，并用于產(chǎn)生頻率響應譜。

    2、光學(xué)平臺的研發(fā)過(guò)程中，對平臺表面上很多點(diǎn)的柔量曲線(xiàn)進(jìn)行記錄；但是，平臺四個(gè)角上的柔量往往都是最大的。因此公司發(fā)布的柔量曲線(xiàn)和數據都是通過(guò)平傳感器在臺四個(gè)角上測得的。

    3、產(chǎn)品都需經(jīng)過(guò)獨立測試，并附帶一份單獨的測試數據報告和柔量曲線(xiàn)。這樣一來(lái)，就可以提供比采用單一尺寸柔量曲線(xiàn)表示所有產(chǎn)品特性的工業(yè)標準更數據。

    4、量曲線(xiàn)和數據是光學(xué)平臺的兩個(gè)比較重要的指標，量曲線(xiàn)和數據都是通過(guò)平傳感器在臺四個(gè)角上測得的，因此說(shuō)明了最不理想情況下的數據結果。

    三、光學(xué)隔振平臺作用

    振動(dòng)來(lái)源主要分為來(lái)自系統之外的振動(dòng)和系統內部的振動(dòng)。地面固有振動(dòng)，工作人員踩踏地板以及開(kāi)、關(guān)門(mén)或墻壁碰撞等通過(guò)地面傳來(lái)的振動(dòng)均屬系統之外的振動(dòng)，這一類(lèi)振動(dòng)需通過(guò)光學(xué)平臺的隔振腿衰減;而來(lái)自系統內部的振動(dòng)包括儀器振動(dòng)、氣流、冷卻水流等，則需依靠光學(xué)平臺的桌面阻尼來(lái)隔絕。

    固有頻率

    固有頻率，顧名思義，為系統本身發(fā)生的振動(dòng)的頻率。數值上來(lái)看，固有頻率等于共振頻率?？紤]物塊與彈性懸臂梁組成的系統，固有頻率取決于兩個(gè)因素——物塊質(zhì)量，以及充當彈簧的彈性懸臂梁的彈性系數。質(zhì)量減小或彈性系數減小可增大固有頻率;質(zhì)量增大或懸臂梁彈性系數增大可降低固有頻率。

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